Danemark : Le DTU Nanolab change 291 FFU en salle blanche

Étude de cas

Produits

Industries

  • Utilisateur final : DTU Nanolab Danemark - Centre national de fabrication et de caractérisation des nanotechnologies
  • Industrie : Semi-conducteurs

DTU Nanolab est le centre national pour la fabrication et la caractérisation des nanotechnologies au Danemark. Il appartient à l'Université technique du Danemark (DTU) et est situé à Lyngby, au nord de Copenhague. DTU Nanolab exploite et entretient des équipements de traitement de pointe dans des salles blanches de 1 350 m2, de classe 10-100, certifiées ISO 9001, en accès libre et payantes.

En tant qu'infrastructure de recherche, le DTU soutient la recherche et le développement dans le cadre de technologies de caractérisation et de fabrication de pointe. Pour garantir une expertise de niveau mondial, l'institut mène des recherches sur les technologies de fabrication et de caractérisation au DTU Nanolab. Son corps professoral, composé d'une quinzaine de professeurs et de chercheurs, couvre un large éventail de technologies et de méthodes. L'objectif principal de leurs recherches est de repousser les limites de la connaissance dans les technologies sélectionnées afin de permettre de nouvelles applications et de nouveaux dispositifs. Pour en savoir plus : https://www.nanolab.dtu.dk/english

Comme presque toutes les installations de ce type, le DTU Nanolab souffre de coûts énergétiques élevés pour le fonctionnement de ses salles blanches. L'infrastructure des unités de filtration à ventilateur, les filtres HEPA utilisés dans les unités, ainsi que les commandes du système complet ont été identifiés comme une étape importante pour réaliser des économies d'énergie. Les unités de filtration à ventilateur actuellement utilisées ont en partie 15 ans de service et ne sont pas à la pointe du progrès en termes d'efficacité énergétique, d'intégrité du système et de niveau sonore. Sur la base de la forte image d'AAF dans l'industrie des semi-conducteurs et d'une longue expérience comprenant des milliers d'installations de FFU et de filtres HEPA ePTFE à faible consommation d'énergie, AAF a proposé une solution convaincante - avec un succès durable.

Le module AstroFan FFU se compose d'un boîtier en aluminium contenant une combinaison moteur/ventilateur EC à entraînement direct et courbé vers l'arrière, et d'un filtre AAF HEPA ou ULPA interchangeable. L'ensemble du boîtier est facile à décontaminer et résiste aux agents désinfectants. Le boîtier est étanche et repose sur les extrémités en aluminium du filtre AAF HEPA ou ULPA.

La technologie de filtre ULPA la plus performante pour la microélectronique.

Dans la fabrication microélectronique, la pureté de l'air et du produit est essentielle pour un codage correct des semi-conducteurs. Tout comme les particules, certains éléments peuvent affecter négativement les propriétés électriques des circuits intégrés, affectant ainsi le rendement. Les supports traditionnels en verre borosilicate sont une source potentielle de contamination par le bore, même avec des supports en verre "à faible teneur en bore". Le phosphore peut être présent dans les retardateurs de combustion de certains mastics en polyuréthane utilisés pour sceller le média au cadre du filtre. C'est pourquoi le MEGAcel II ME est construit et testé sans bore ni phosphore. Depuis plus de 20 ans, le MEGAcel II ME est la référence en matière de boîtiers de mini-environnement pour les systèmes de filtration des outils à semi-conducteurs.

 

FFU HEPA/ULPA haute efficacité de conception modulaire
  •  Disponible en 7 tailles standard
  •  Boîtier léger en aluminium
  •  Faible niveau sonore
  •  Convient à toutes les classes de salles blanches ISO
  • Convient aux flux laminaires et turbulents
  •  Adapté à une large gamme de filtres AAF HEPA et ULPA
  •  Disponible avec interface de contrôle EC RS-485, 0-10 Volt et MODBUS RTU

 

Systèmes de contrôle entièrement intégrés.

En plus des filtres à air et des boîtiers d'alimentation non motorisés, certaines applications nécessitent également un contrôle spécifique de la vitesse et de la régularité du flux d'air dans les espaces de production à grande échelle. Les unités de filtre à air, surtout lorsqu'elles sont associées à des systèmes de contrôle électronique robustes, contribuent à garantir l'intégrité des processus de production dans ces applications et à maximiser l'économie globale du système.

 

Filtres à membrane MEGAcel® II ME
  •  Offre une efficacité ultra-haute avec la plus faible chute de pression
  •  Haute résistance aux environnements corrosifs (acides, alcalis et substances organiques)
  •  Les plus faibles propriétés de dégazage disponibles
  •  Média à haute résistance à la traction, plus résistant aux manipulations brutales lors du transport et de l'installation.
  •  Répond aux spécifications I300I et est classé UL 900 et ULC S111.
  •  Plus d'informations sur le MEGAcel II ME

 

291 unités de filtration de ventilateur (FFU) sont sur le point d'être remplacées dans la salle blanche, la date d'achèvement étant prévue pour mai 2022. Les nouveaux FFU sont plus silencieux que les FFU existants et permettront d'économiser 122.000 kWh/an, ce qui correspond à environ 268.000 kr./an.

  • Utilisateur final : DTU Nanolab Danemark - Centre national de fabrication et de caractérisation des nanotechnologies
  • Industrie : Semi-conducteurs

DTU Nanolab est le centre national pour la fabrication et la caractérisation des nanotechnologies au Danemark. Il appartient à l'Université technique du Danemark (DTU) et est situé à Lyngby, au nord de Copenhague. DTU Nanolab exploite et entretient des équipements de traitement de pointe dans des salles blanches de 1 350 m2, de classe 10-100, certifiées ISO 9001, en accès libre et payantes.

En tant qu'infrastructure de recherche, le DTU soutient la recherche et le développement dans le cadre de technologies de caractérisation et de fabrication de pointe. Pour garantir une expertise de niveau mondial, l'institut mène des recherches sur les technologies de fabrication et de caractérisation au DTU Nanolab. Son corps professoral, composé d'une quinzaine de professeurs et de chercheurs, couvre un large éventail de technologies et de méthodes. L'objectif principal de leurs recherches est de repousser les limites de la connaissance dans les technologies sélectionnées afin de permettre de nouvelles applications et de nouveaux dispositifs. Pour en savoir plus : https://www.nanolab.dtu.dk/english

Comme presque toutes les installations de ce type, le DTU Nanolab souffre de coûts énergétiques élevés pour le fonctionnement de ses salles blanches. L'infrastructure des unités de filtration à ventilateur, les filtres HEPA utilisés dans les unités, ainsi que les commandes du système complet ont été identifiés comme une étape importante pour réaliser des économies d'énergie. Les unités de filtration à ventilateur actuellement utilisées ont en partie 15 ans de service et ne sont pas à la pointe du progrès en termes d'efficacité énergétique, d'intégrité du système et de niveau sonore. Sur la base de la forte image d'AAF dans l'industrie des semi-conducteurs et d'une longue expérience comprenant des milliers d'installations de FFU et de filtres HEPA ePTFE à faible consommation d'énergie, AAF a proposé une solution convaincante - avec un succès durable.

Le module AstroFan FFU se compose d'un boîtier en aluminium contenant une combinaison moteur/ventilateur EC à entraînement direct et courbé vers l'arrière, et d'un filtre AAF HEPA ou ULPA interchangeable. L'ensemble du boîtier est facile à décontaminer et résiste aux agents désinfectants. Le boîtier est étanche et repose sur les extrémités en aluminium du filtre AAF HEPA ou ULPA.

La technologie de filtre ULPA la plus performante pour la microélectronique.

Dans la fabrication microélectronique, la pureté de l'air et du produit est essentielle pour un codage correct des semi-conducteurs. Tout comme les particules, certains éléments peuvent affecter négativement les propriétés électriques des circuits intégrés, affectant ainsi le rendement. Les supports traditionnels en verre borosilicate sont une source potentielle de contamination par le bore, même avec des supports en verre "à faible teneur en bore". Le phosphore peut être présent dans les retardateurs de combustion de certains mastics en polyuréthane utilisés pour sceller le média au cadre du filtre. C'est pourquoi le MEGAcel II ME est construit et testé sans bore ni phosphore. Depuis plus de 20 ans, le MEGAcel II ME est la référence en matière de boîtiers de mini-environnement pour les systèmes de filtration des outils à semi-conducteurs.

 

FFU HEPA/ULPA haute efficacité de conception modulaire
  •  Disponible en 7 tailles standard
  •  Boîtier léger en aluminium
  •  Faible niveau sonore
  •  Convient à toutes les classes de salles blanches ISO
  • Convient aux flux laminaires et turbulents
  •  Adapté à une large gamme de filtres AAF HEPA et ULPA
  •  Disponible avec interface de contrôle EC RS-485, 0-10 Volt et MODBUS RTU

 

Systèmes de contrôle entièrement intégrés.

En plus des filtres à air et des boîtiers d'alimentation non motorisés, certaines applications nécessitent également un contrôle spécifique de la vitesse et de la régularité du flux d'air dans les espaces de production à grande échelle. Les unités de filtre à air, surtout lorsqu'elles sont associées à des systèmes de contrôle électronique robustes, contribuent à garantir l'intégrité des processus de production dans ces applications et à maximiser l'économie globale du système.

 

Filtres à membrane MEGAcel® II ME
  •  Offre une efficacité ultra-haute avec la plus faible chute de pression
  •  Haute résistance aux environnements corrosifs (acides, alcalis et substances organiques)
  •  Les plus faibles propriétés de dégazage disponibles
  •  Média à haute résistance à la traction, plus résistant aux manipulations brutales lors du transport et de l'installation.
  •  Répond aux spécifications I300I et est classé UL 900 et ULC S111.
  •  Plus d'informations sur le MEGAcel II ME

 

291 unités de filtration de ventilateur (FFU) sont sur le point d'être remplacées dans la salle blanche, la date d'achèvement étant prévue pour mai 2022. Les nouveaux FFU sont plus silencieux que les FFU existants et permettront d'économiser 122.000 kWh/an, ce qui correspond à environ 268.000 kr./an.

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